SHINKU真空光學(xué)裝配用多軸機(jī)械臂VM-150

SHINKU真空光學(xué)裝配用多軸機(jī)械臂VM-150

多軸機(jī)械臂VM-150

介紹：

本產(chǎn)品是通過(guò)超高真空中的冷凍機(jī)、高真空中的冷凍機(jī)等的移動(dòng)及測(cè)定等實(shí)驗(yàn)，設(shè)計(jì)成能夠正確且再現(xiàn)性地操作大氣中的上下移動(dòng)或X.Y的平行移動(dòng)，并進(jìn)行精密的制作、組裝，以達(dá)到功能的優(yōu)秀和精度本公司的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各方面。

規(guī)格：

XY平行移動(dòng)：移動(dòng)±10mm

移動(dòng)密度10μ以下

Z方向移動(dòng)：移動(dòng)130mm

移動(dòng)密度50μ以下

安裝法蘭：上部??ICF70FT

下部…ICF152 FH

焊接貝羅：外徑60mm內(nèi)徑40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

簡(jiǎn)易型機(jī)械臂KMV-70　ST100

本產(chǎn)品通過(guò)超高真空中樣品等的移動(dòng)及測(cè)定等實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，可在大氣中進(jìn)行上下移動(dòng)或X.Y的平行移動(dòng)，本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各方面。

規(guī)格

X.Y平行移動(dòng)：移動(dòng)±5mm

Z軸移動(dòng)量：100m/m

安裝法蘭：上部法蘭ICF70FT

下部法蘭ICF70FH

焊接貝羅：使用內(nèi)徑40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

冷凍機(jī)用機(jī)械臂CLM-70/70

本產(chǎn)品是通過(guò)超高真空中的冷凍機(jī)、高真空中的冷凍機(jī)等的移動(dòng)及測(cè)定等實(shí)驗(yàn)，設(shè)計(jì)成能夠正確且再現(xiàn)性地操作大氣中的上下移動(dòng)或X.Y的平行移動(dòng)，并進(jìn)行精密的制作、組裝，以達(dá)到功能的優(yōu)秀和精度本公司的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各方面。也制作XY軸、Z軸的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。

規(guī)格

X.Y平行移動(dòng)：移動(dòng)±6.5mm（手動(dòng)）、移動(dòng)精度10μm以下

Z方向移動(dòng)：100～200m/m（手動(dòng)）、移動(dòng)精度50μm以下

安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動(dòng)法蘭ICF70FT

焊接貝羅：外徑φ60mm內(nèi)徑φ使用40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下