ICF70XY機(jī)械軸XY-70/70-40-10真空光學(xué)代理

ICF70XY機(jī)械軸XY-70/70-40-10真空光學(xué)代理

ICF70XY機(jī)械軸XY-70/70-40-10

規(guī)格:

X?Y平行移動(dòng)：±10mm

精度刻度：0.01m/1div

安裝法蘭：ICF70

玫瑰內(nèi)徑：40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

X機(jī)械軸

X-70/70-M

規(guī)格

X方向移動(dòng)：±12.5mm（線程馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）、法蘭面間110mm、分辨率0.04μm/pulse、帶限位開(kāi)關(guān)

安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動(dòng)法蘭ICF70FT

焊接貝羅：外徑φ60mm內(nèi)徑φ使用40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)KMMR-34

本產(chǎn)品是可用于導(dǎo)入真空中安裝的機(jī)器的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的超高真空區(qū)域的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)。

規(guī)格

連接法蘭：ICF34

前端軸直徑：6mm

引進(jìn)軸長(zhǎng)度：法蘭面～35L

容許扭矩：4kg/f（磁耦合）

重量：0.55kg

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)VBR-70

規(guī)格

使用焊接回流10 deg/1刻度

傳遞扭矩2N?m手動(dòng)

連接法蘭ICF70FH

旋轉(zhuǎn)棒φ8（SUS304）帶限位器

約820g

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下